昆. wrote:
幾奈米是指邏輯閘的閘極尺寸,雖然理論上他越小,密度越大,但他們沒有直接關係。
既然你要講密度,咱們就來說說密度吧
閘極尺寸正確來說是Gate pitch
但是現在都是FinFET
所以都不正確了
都只是宣稱
其實密度的第一個考量是曝光機的最小間距
我們稱為half pitch
這是由曝光機的能力所決定的
EUV可以只用單次曝光完成最小線距
193i只能用多重曝光
然後就是洞(contact/via)的問題
其實洞比線距難做
因為一個是1D 尺寸一個是2D尺寸
小洞填溝就很有問題
現在都用Co
這個牽涉到良率
其實EUV都是優先用在洞的pattern
GG與三星的mode都比Intel誇大一點
所以約略是7-->10
5-->7
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如果是比良率
我是越來越看好GG
因為7nm的洞已經用EUV
GG能大量出貨
表示練功練得好
練得好就像打怪一樣要有經驗值
有量就可以練經驗值
GG的3nm還是用FinFET
但是曝光方法可能會更難
EUV的half pitch可能不足
可能要EUV的雙重曝光,還是要等到 ASML的新一代曝光機
我想以GG的考量一定是兩者都練功
一定不只一組人馬在練功
GG以前都是兩組人馬在輪流研發
只有小孩才在做選擇
GG全部都要...
健人就是腳勤
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